一、工作原理：按照工作原理可分為氣體轉移式真空泵和氣體捕獲式真空泵兩種。氣體轉移式真空泵是一種通過將氣體不斷的吸入和排出以此來達到抽真空目的的真空泵，使用該原理的真空泵油變容真空泵和動量傳輸真空泵兩種。氣體捕獲式真空泵是通過將氣體分子吸附在泵的內表面從而使密封容器內部的氣體分子減少從而達到抽真空的目的真空泵，其中代表性的應用有螺桿式真空泵、分子真空泵、旋片式真空泵、噴射真空泵和活塞式真空泵等。

二、真空度：除了粗真空和低真空可以使用一種真空泵完成，高真空以上的領域必須要兩種以上的真空泵機組才可以完成。我們按照真空度來進行分類可大致分為14大類，分別為：

1、高/超真空：低溫泵、分子泵、擴散泵、鈦升華泵、濺射離子泵。

2、中真空：干泵、羅茨泵、油增壓泵、雙級旋片泵、水蒸汽噴射泵。

3、粗/低真空：液環(huán)泵、滑閥泵、單級旋片泵、往復式真空泵。

三、結構特點：根據(jù)真空泵的結構特點可分為機械式真空泵和射流式真空泵兩種，通過機械的運動來不斷改變真空泵的吸氣容腔容積從而獲得真空的真空泵，我們稱之為機械式真空泵。機械式真空泵有旋片泵、螺桿泵、羅茨泵、液環(huán)泵、往復式真空泵和旋轉式機械泵。噴射式真空泵則是利用流體傳遞能量和質量，是由噴嘴、吸入室和擴壓管三部分組成，本身并沒有運動部件。它的工作原理是利用高壓的工作流體從噴嘴高速噴出，經(jīng)過能量轉換后在噴嘴的出口形成真空的區(qū)域，從而將被抽取的介質吸出來，兩種介質會在擴壓管內進行能量交換然后排出，以此來達到抽真空的目的。采用射流式的真空泵有空氣噴射泵、水蒸氣噴射泵和其他類型的擴散泵等。